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투명체전용
datasheet
 
 
 

• 최첨단 CMOS Technology : 대상물체의 광택이나 색상에 영향받지 않음

• 고정도 분해능(1 μm), 고속측정(10KHz)

• High-End-System : 1 Amp, 2 Head 취부가능

• 35 ± 5 / 85 ± 20 / 350 ± 100㎜의 다양한 측정영역

• 출력형태 : -5~+5V, 4-20mA, RS232  

• 투명체 전용모델 : OD25-01T1(25㎜ ±1㎜)

 
 

 

모델

측정영역

기준거리

분해능

측정정도

OD30-05T01

±5mm

30㎜

1㎛

±10㎛

OD85-20T1

±20mm

85㎜

5㎛

±40㎛

OD350-100T1

±100mm

350㎜

50㎛

±200㎛

 

투명체 전용 (불투명체 측정가능)

모델

측정영역

기준거리

분해능

측정정도

OD25-01T1

±1mm

25㎜

0.1㎛

±2㎛

 

 

Technical Data

레이저 타입

Laser diode, RED (650nm)

레이저 등급

Class 2, 1mW

측정 주파수

10kHz

출력

RS232, Analog 4-20mA, -5~+5V, NPN

전원

24V DC

보호 등급

IP 67

주변 온도

-10 ~ 45°C

사이즈 (WxDxH)

75 x 78 x 25.6㎜ (AI)

                  ?Sensor Cable : 2m, 5m

 
  반도체 웨이퍼의 코팅 두께측정
  Head OD25-01T1 2개와 1개의 Amp를 이용하여 반도체 웨이퍼의 코팅을 0.1㎛ 단위로 측정하고 있습니다.
  슬라브의 폭 측정
  레이저 센서 헤드 OD350-100T1 2개와 1개의 AMP를 사용하여 슬라브의 폭을 분해능 50㎛ 단위로 정밀하게 측정합니다.
  OD-MAX 비접촉 진동 프로파일 측정
 
 
 
 
 
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