특징
• 고 정밀 / 고 신뢰성 계측 시스템 적용
• 자동화 생산 라인에서 추출되는 얇은 필름 및 소재의 두께 측정
• 거울 표면 측정
• 투명한 용액, 다층 소재, 접착제 등의 프로파일, 두께 및 간격 측정
어플리케이션
• 유리 및 렌즈 측정
• PCB / IC칩 검사
• 웨이퍼 검사
• 접착제 / 필름 검사
• 리튬 배터리 결함 감지
• 정밀 하드웨어 측정
사양
- Sensor Head
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모델 기준 거리 (mm) 측정 범위 (mm) 선형성 (µm) 반복 정밀도 (µm) 측정 각도 (°) 스팟 지름 (µm) HPS-CFL005 4.06 ±2.395 2.7 0.138 ±8.2 25 HPS-CFL007 6.5 ±0.8 3.2 0.27 ±10 20 HPS-CFL008A 9.2 ±0.67 0.57 0.08 ±15.5 16 HPS-CFL008B 4.1 ±0.544 0.28 0.0425 ±28.2 13 HPS-CFL010 7.5 ±1.25 6 0.3 ±12.5 60 HPS-CFL010B 4.2 ±0.34 0.4 0.052 ±30 13 HPS-CFL015 14.6 ±0.41 0.4 0.101 ±20.7 13 HPS-CFL020 13.626 ±3.167 2 0.0725 ±18.1 13 HPS-CFL025 43.9 ±6 4 0.34 ±8.9 70 HPS-CFL030 32.5 ±3.2 2 0.23 ±13 52 HPS-CFL033 16.13 ±1.25 0.15 0.042 ±30.4 10 HPS-CFL036 11.3 ±1.2 0.3 0.04 ±35.23 12.4 HPS-CFL037 35.9 ±1.6 0.9 0.1 ±19.2 37 HPS-CFL040 24.45 ±1.2 0.5 0.06 ±23 28 HPS-CFL041 48.5 ±6 0.63 0.24 ±16 32 HPS-CFL042 68.45 ±8 2.5 0.35 ±11 65 HPS-CFL043 7 ±0.23 0.2 0.18 ±44 7 HPS-CFL047 171 ±40 4.5 1.18 ±7.7 30 HPS-CFL052 51.24 ±8.29 2.2 0.4 ±15.4 38 HPS-CFL053 19.98 ±0.39 0.15 0.045 ±33.4 3.1 HPS-CFL054 9.83 ±1.06 0.35 0.06 ±46 15 HPS-CFL060 46 ±14 2.8 0.5 ±14 44 HPS-CFL094 9.09 ±1.2 0.4 0.07 ±62 12.8
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- Controller
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모델 측정 채널 수 샘플링 속도(kHz) 인터페이스 입출력 포트 동작 전원 (V AC) HPS-CF2000 2 1 channel : 2.4
2 channel : 1.5Ethernet
RS-232
RS-485
RS-422Encoder input x 1
Sync input x 2
Sync output x 3
Analog output x 2100 ~ 240 HPS-CF3000 2 1 channel : 2.4
2 channel : 1.5Ethernet
RS-232
RS-485Encoder output x 1
Sync input x 2
Sync output x 2
Analog output x 2100 ~ 240 HPS-CF4000 4 1 channel : 6.3
4 channel : 1.8USB3.0
RS-232
RS-485
RS-422Encoder input x 1
Sync input x 1
Sync output x 1
Alarm output x 4
Analog output x 4100 ~ 240
- Technical Data
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LED 타입 White LED 보호 등급 표준 IP52
맞춤형 IP67사용 온도 Sensor Head : 0°C ~ +50°C
Controller : 0°C ~ +45°C
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